글러브 박스가 고진공 밸브가 열리지 않는 경우 처리 방법
(1) 가스 실린더의 가스 압력이 너무 낮고 압력이 0.5MPa여야 합니다.
(2) 고진공 배플 밸브에 기계적 손상이 있거나 솔레노이드 밸브 랩이 타버렸습니다.
(3) 느슨한 라인, 접촉 불량 등
해결책은 다음과 같습니다.
(1) 압력 게이지 출력 압력을 0.5MPa로 조정하는 솔루션;
(2) 솔루션이 새 라인 패키지를 대체합니다.
(3) 라인 고정 솔루션;
글러브 박스가 고진공 밸브가 열리지 않는 경우 처리 방법
(1) 가스 실린더의 가스 압력이 너무 낮고 압력이 0.5MPa여야 합니다.
(2) 고진공 배플 밸브에 기계적 손상이 있거나 솔레노이드 밸브 랩이 타버렸습니다.
(3) 느슨한 라인, 접촉 불량 등
해결책은 다음과 같습니다.
(1) 압력 게이지 출력 압력을 0.5MPa로 조정하는 솔루션;
(2) 솔루션이 새 라인 패키지를 대체합니다.
(3) 라인 고정 솔루션;
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